設(shè)置 100 級(jí) (ISO 5) 潔凈室所需的實(shí)驗(yàn)室用品和設(shè)備
什么是 100 級(jí)潔凈室？
ISO 5 級(jí)潔凈室，也稱為 100 級(jí)潔凈室，每立方英尺（100,000 個(gè)粒子/每立方米）空氣中僅允許 100 個(gè)尺寸為 0.5 μm 或更大的粒子。這種分類處于更關(guān)鍵的一端，需要高水平的過(guò)濾。即使進(jìn)入 100 級(jí)也需要通過(guò)其他 ISO 控制環(huán)境。
可能需要 100 級(jí)潔凈室的制造行業(yè)包括航空航天、光學(xué)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、晶圓板、記錄介質(zhì)和植入式醫(yī)療設(shè)備。對(duì)于精心設(shè)計(jì)的 ISO 5 潔凈室的成功啟動(dòng)，預(yù)先規(guī)劃、程序?qū)嵤┖屠斫庀到y(tǒng)工程是至關(guān)重要的組成部分。
ISO 5 潔凈室分類
ISO 教室標(biāo)識(shí)（ISO 標(biāo)準(zhǔn) 146144-1:2015）的命名基于每 m 3空氣中允許的 ≥ 0.1 μm 或更大的顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù)，而聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E 的編號(hào)等級(jí)表示允許的顆粒 ≥ 0.5 mm/ft 3空氣。
在理想情況下，要達(dá)到 ISO 5 空氣潔凈度，您必須通過(guò) ISO 8（前室）進(jìn)入潔凈室，然后通過(guò) ISO 7，然后通過(guò) ISO 6 才能進(jìn)入。雖然這并不總是可行的，但法規(guī)要求兩個(gè)相連的房間在清潔度等級(jí)上的差異不應(yīng)超過(guò)兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
100 級(jí)潔凈室和清潔設(shè)施使用層流或單向氣流來(lái)去除空氣中的雜質(zhì)。空氣以 0.3 - 0.5 m/s 的速度沿一個(gè)方向掃過(guò)房間，然后穿過(guò)地板離開(kāi)。超低滲透空氣 ( ULPA ) 過(guò)濾效率為 99.9995%，可去除高達(dá) 0.12 微米的空氣顆粒。
100 級(jí)潔凈室的空氣顆粒物潔凈度
美光 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1 | 5 |
顆粒/m 3 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
證明持續(xù)合規(guī)的測(cè)試時(shí)間表
測(cè)試參數(shù) | 班級(jí) | 最大時(shí)間間隔 | 測(cè)試程序 |
粒子計(jì)數(shù)測(cè)試 | <= ISO 5 | 6個(gè)月 | ISO 14644-1 附錄 A |
氣壓差 | 所有課程 | 12個(gè)月 | ISO 14644-1 附錄 B5 |
空氣流動(dòng) | 所有課程 | 12個(gè)月 | ISO 14644-1 附錄 B4 |
聯(lián)邦和 ISO 氣流速度標(biāo)準(zhǔn)
等級(jí)：ISO 146144-1（聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E） | 平均氣流速度 (m/s (ft/min)) | 每小時(shí)換氣次數(shù) | 天花板覆蓋 |
ISO 5（100 級(jí)） | 0.203 – 0.406 (40 – 80) | 240 – 480 | 35 – 70% |
服裝
建議 100 級(jí) (ISO5) 潔凈室使用以下服裝。
發(fā)套
兜帽
面罩 (2X)
連體衣
靴子
防護(hù)手套
您可能還需要在 100 級(jí)潔凈室中儲(chǔ)存蓬松、胡須套、護(hù)目鏡、手套襯里、短靴和鞋套。
為了最大限度地減少 ISO 5 潔凈室中的微粒污染，只允許使用不脫落的潔凈室 PPE。它們通常由 Gortex、Tyvek、Dacron 或其他無(wú)紡材料（如聚丙烯或其他微孔材料）制成。
連體衣
滌綸潔凈室工作服
聚丙烯潔凈室工作服
連帽衫和靴子
微孔連體服
ISO 6 級(jí)潔凈室高性能連帽衫和拉鏈
用于關(guān)鍵和低顆粒清潔環(huán)境的乳膠/無(wú)薄膜涂層工作服
適用于接觸血源性病原體、一些危險(xiǎn)液體，以及液體飛濺的問(wèn)題
表面電阻≤1011的靜電消散聚乙烯/丙烯織物
附連帽，拉鏈前入口，彈性手腕，彈性腳踝，彈性下背部和防風(fēng)蓋拉鏈蓋，鋸齒縫結(jié)構(gòu)
雖然這件工作服真的很酷，但它說(shuō) ISO 6 還不夠干凈？
蓬松帽
低掉毛聚丙烯蓬松帽
胡須蓋
無(wú)乳膠胡須套
面具
3層一次性無(wú)紡布纖維口罩
手套
ISO 5 或 100 級(jí)手套符合 ISO 和 FED STD 209E 標(biāo)準(zhǔn)。這些袋裝手套經(jīng)過(guò)處理，不含微生物且不含粉末。它們?cè)谑褂靡淮魏蟊粊G棄。
ISO 5 丁腈手套
100 級(jí)丁腈潔凈室手套
鞋套
鞋套由 100% 紡粘聚丙烯制成，防滑
更衣區(qū)
設(shè)置更衣區(qū)以便于取用潔凈室服裝。
在更衣室的入口處需要粘性墊子，以便在進(jìn)入之前去除顆粒物。
在踩到俗氣的墊子后和進(jìn)入更衣室之前，可以穿上鞋套。
設(shè)置一個(gè)服裝供應(yīng)區(qū)，一側(cè)有連衣裙和長(zhǎng)袍，還有一個(gè)單獨(dú)的架子用于存放頭巾、口罩和其他用品。衣架由符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的不銹鋼制成，專為清潔和穩(wěn)定而設(shè)計(jì)。一些儲(chǔ)物柜配備了 HEPA 過(guò)濾器，以清除不需要的顆粒。
使用易于清潔的更衣臺(tái)穿上工作服。每次使用后準(zhǔn)備好消毒濕巾來(lái)清潔工作臺(tái)。
用無(wú)塵室膠帶標(biāo)定干凈/骯臟的地板。5S 系統(tǒng)可以幫助提高潔凈室的效率。
只允許在指定的清潔區(qū)域（經(jīng)常用新鮮的無(wú)紡布拖把清潔）清洗過(guò)的短靴。
在潔凈室 - 辦公用品
筆、記事本和紙等日常用品不適合潔凈室設(shè)置。
潔凈室筆記本
無(wú)塵紙和便簽
無(wú)塵筆（這是說(shuō)顯微鏡零件和配件？？）
在潔凈室 - 工具和設(shè)備
用于 ISO 5 潔凈室的Class 100 干燥箱
鑷子、鑷子、鉗子、刷子和止血鉗等工具
潔凈室拭子
潔凈室真空系統(tǒng)
潔凈室剃須刀片
墊料架和實(shí)用推車生銹和發(fā)霉
儀表和監(jiān)視器
架子、擱板、盒子和箱子
保溫和運(yùn)輸
垃圾桶和襯墊
潔凈室化學(xué)品
潔凈級(jí)溶劑
化學(xué)品儲(chǔ)存柜
打掃
封邊聚酯抹布非常適合 ISO 5 或 100 級(jí)潔凈室，因?yàn)檫吘壊粫?huì)脫落。遠(yuǎn)離這種分類的聚纖維素或無(wú)紡布擦拭巾。
考文垂?jié)崈羰揖埘窠硖峁┳頶ao級(jí)別的保護(hù)，因?yàn)樗鼈円言?10 級(jí)（ISO 4 級(jí)）潔凈室中清洗以去除顆粒。
聚縞瑪瑙 靜電擦拭布是 100 – 1000 級(jí) (ISO 5-6) 黑色激光密封邊緣聚酯擦拭布，在 107-109 范圍內(nèi)具有靜電耗散性，符合 S20.20 標(biāo)準(zhǔn)。
高純度聚酯酒精濕巾用經(jīng)過(guò) 0.05 μm 介質(zhì)過(guò)濾的半導(dǎo)體級(jí)異丙醇 (IPA) 飽和。它們經(jīng)過(guò) 10 級(jí)（M3、ISO 4）潔凈室加工和包裝，是清潔半導(dǎo)體晶圓廠和其他關(guān)鍵應(yīng)用的理想選擇。
潔凈室 chamoix用于去除焊劑
潔凈室測(cè)試
泡沫或植絨采樣棉簽
100 級(jí) (ISO 5) 潔凈室的注意事項(xiàng)
保持潔凈室的清潔度是這項(xiàng)工作最重要的方面。ISO 5 分類具有很高的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)榭蛻舭踩Q于它。在將任何物品引入 Class 100 環(huán)境之前，請(qǐng)檢查并標(biāo)記為兼容。
